| 真空槽尺寸(mm) | φ1300 | φ1500 |
| 傘架尺寸(mm) | φ1150 | φ1400 |
| 體積(mm) | W4,500×D6,000×H2,730 | W4,900×D6,500×H3,166 |
| 分量(kg) | 6,546 | 9301 |
| 排氣體系 | 22 inchDP×2冷阱 | 22 inchDP×2冷阱 |
| 基板加熱 | 鹵素燈or加熱絲（~350℃） | |
| 電子槍 | 180° or 270° 方向型 | |
| 離子源 | 柵網式RF離子源 φ130,180,230 | |
| 光學膜厚儀 | Lafio Plus | |
| 水晶膜厚儀 | 單 or 六連晶控探頭+COAT LEADER | |
